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光刻胶
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探针
非光刻涂层
| 旋涂玻璃(SOG)
| 旋涂掺杂(SOD)
| 临时性保护层
| 临时性粘附层

旋涂掺杂(SOD) 1

品牌
产地 型号 应用 性质 对生产的作用
Futurrex 美国 BDC1-2000 旋涂硼
旋涂磷
旋涂锌
透明薄膜通过O2 Plasma转化为固态掺杂

代替掺杂的旋涂玻璃
在一些应用中代替离
子植入代替ampoule
中锌掺杂

PDC1-2000
ZPDC2-2000


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脚注信息
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